過(guò)濾在化學(xué)機(jī)械拋光液（CMP slurry）的制取和使用過(guò)程中是*的。使用傳統(tǒng)的動(dòng)態(tài)光散射粒度儀不可能檢測(cè)和定量分析過(guò)濾效果的好壞，即不能檢測(cè)出導(dǎo)致研磨過(guò)程中劃傷晶片的研磨液中大顆粒是否被濾除。有時(shí)過(guò)濾器的實(shí)際使用壽命會(huì)由于某種因素的影響比預(yù)期的使用壽命要縮短，而過(guò)濾器的失效會(huì)導(dǎo)致研磨液中的大顆粒劃傷晶片。如果沒(méi)有一種方法檢測(cè)/監(jiān)測(cè)研磨液過(guò)濾前后的尾部大顆粒，生產(chǎn)廠家就只能通過(guò)頻繁更換過(guò)濾器的方法來(lái)產(chǎn)品質(zhì)量的*，這樣做既浪費(fèi)人力又浪費(fèi)物力。 

關(guān)鍵詞： Nicomp380   SPOS  過(guò)濾效率  Slurry 

二、客戶(hù)現(xiàn)存問(wèn)題:

     某過(guò)濾器材公司研發(fā)部一直想提升濾芯的過(guò)濾效率和判斷何時(shí)更換過(guò)濾器。但是苦于該公司的激光粒度儀在2μm處測(cè)試效果不好，到處尋找適合測(cè)試的儀器。

三、解決方案：

   PSS提供粒度分析儀NICOMP 380 和顆粒計(jì)數(shù)器AccuSizer FXnao來(lái)對(duì)過(guò)濾前后進(jìn)行分析比較。

    該公司為了測(cè)試PSS儀器的性，他們將200nm標(biāo)粒和500nm標(biāo)?；旌线M(jìn)行測(cè)試。

    采用NICOMP 380 測(cè)試粒徑分布。NICOMP多峰分布顯示有下面兩個(gè)峰值，如圖一 

圖一

采用FXnano繼續(xù)對(duì)該樣品進(jìn)行顆粒計(jì)數(shù)測(cè)試分析。如圖二

圖二

FXNano給出的數(shù)據(jù)庫(kù) Channel date：

   該數(shù)據(jù)庫(kù)很好的顯示了PSS儀器強(qiáng)大的計(jì)數(shù)功能和分辨率。判定在0.2μm和0.5μm處有呈現(xiàn)粒子，很直觀的給出了顆粒的分布和數(shù)量信息。

為了判別濾芯的過(guò)濾效率。測(cè)試slurry過(guò)濾前后的樣品，疊加，如圖三

圖三Slurry過(guò)濾前后對(duì)比 ，過(guò)濾前（紅色），過(guò)濾后（藍(lán)色）

四、結(jié)果：

    該公司對(duì)測(cè)試結(jié)果非常滿(mǎn)意， AccuSizer 系列能夠很容易地檢測(cè)和定量分析那些嚴(yán)重危害制品質(zhì)量的尾部大顆粒，從而可以測(cè)定過(guò)濾器的效率以及大顆粒的濾除率。使用AccuSizer檢測(cè)/監(jiān)測(cè)過(guò)濾效果能夠延長(zhǎng)過(guò)濾器的實(shí)際使用壽命，從而節(jié)約生產(chǎn)成本，購(gòu)買(mǎi)儀器的投資幾個(gè)月即可收回。

五、結(jié)論：

     NICOMP 380帶有的多峰分布，采用去卷積算法給出了多組分樣品的粒度分析。雖然激光衍射儀器有著寬廣的測(cè)試范圍和快速測(cè)試的優(yōu)勢(shì)，但是其本身原理太依賴(lài)于光學(xué)部件，在2μm處的衍射環(huán)辨析率不高。SPOS單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)不僅給出了顆粒粒徑的分布情況，還對(duì)粒子數(shù)目有著真實(shí)的檢測(cè)計(jì)數(shù)。用來(lái)檢測(cè)過(guò)濾效率，既，又一目了然。